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电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究

全部作者:郭小立 唐天同第1作者单位:西安交通大学论文摘要:本文采用波动电子光学的.图像理论来研究高分辨电子光学系统的电子束斑电流密度分布。利用波像差概念和电荷密度的旁轴展开式,修正旁轴轨迹和透镜的球像差系数来考虑空间电荷效应。考虑了电子源的空间电荷和部分相干性,利用光学传递函数的傅立叶-贝塞尔变换获得点扩散函数。关键词:电子束,电流密度分布,束斑尺寸,空间电荷效应,热初速,波动电子光学 (浏览全文)发表日期:2006年10月29日同行评议:

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电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究

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